CMP Giữ lại Ring - Techtron® PPS ống

Tên sản phẩm:
Câu hỏi hoặc nhận xét:

Tên công ty:

Tên:

Đầu tiên

Cuối cùng

E-mail:

Số điện thoại:

Thành phố:

Quốc gia / Nhà nước:

Hoa Kỳ
Canada
Khác

Zip / Postal Code:

(Đối với Hoa Kỳ hoặc Canada)

Các mục trong Bold phải được điền vào.

TỔNG QUAN về Vòng giữ CMP - Ống PPS Techtron®

Techtron® PPS CMP Giữ lại nhẫn sử dụng trong các máy CMP sử dụng cao độ tinh khiết & bền lâu Techtron PPS.

PPS Giữ lại nhẫn mà giữ 300 mm wafer bán dẫn trong hóa học planarization cơ khí (CMP) phải chịu được tiếp xúc thường xuyên với các hóa chất mạnh và mài mòn. Một cách mà các nhà chế tạo bán dẫn đạt được độ cứng, độ tinh khiết và độ dẻo dai cần thiết trong CMP nhẫn là sử dụng vòng công từ Techtron® PPS. Những hình được làm từ một lớp độc quyền của Fortron® polyphenylene sulfide (PPS).

Hình dạng Techtron® PPS kéo dài tuổi thọ vòng đáng kể so với acetal, polyester và generic PPS. Kinh nghiệm cho thấy rằng quá trình nhẫn làm từ hình dạng cổ Techtron® PPS chịu được 2.000 đến 5.000 vòng CMP so với 1.000 đến 2.000 vòng nhẫn làm bằng những vật liệu PPS generic khác.

Trong CMP, một lớp silicon dioxide, nhôm, đồng hoặc các tài liệu khác trên wafer bán dẫn là đánh bóng đến một độ phẳng chính xác trước khi mạch được khắc trên đó. Bùn sử dụng thay đổi trong mài mòn và độ pH phụ thuộc vào chất liệu bề mặt. Trong CMP, một pad đánh bóng quay lại một wafer gắn trên một cơ sở gốm và tổ chức trong một vòng giữ. Ngoài chịu các hợp chất đánh bóng, vòng phải chiều ổn định và không thể uốn cong trong đánh bóng.

Techtron® PPS khoảng trống là 12 đến 24 in.-dài ống được gia công thành giữ lại chiếc nhẫn khác nhau về chiều cao 0,33-1,0 trong. Các vòng 12-inch đường kính (ID) sử dụng với 300 mm tấm có độ dày của 0,375 2,5 trong. Các Techtron® PPS sử dụng cho khoảng trống vòng là một lớp cao độ dẻo dai, làm giảm sứt mẻ và phá vỡ và có độ bền kéo kéo dài lên đến 25 phần trăm.