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Sondenkarte Produkte

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Overview of Probe Card Products

— Sondenkarte und Sondentestgeräte
Was ist eine Sondenkarte? Eine Wafer-Prüfkarte ist ein wesentliches Hardware-Teil, das von Halbleiterherstellern beim Wafer-Testen verwendet wird. Wafer-Testen ist der Prozess des elektrischen Testens einzelner Chips auf einem Wafer, um festzustellen, ob dieser Chip funktionell gut oder schlecht ist. Es ist einer der wichtigsten Prozesse in der Halbleiterfertigung. Die automatische Testausrüstung (ATE), die den Test durchführt, besteht aus dem IC-Tester, dem Testkopf und dem Testkopfmanipulator. Die Prüfkarte wird üblicherweise auf dem Testkopf montiert und über Kabel elektrisch mit dem IC-Tester verbunden (siehe Abbildung). Die Sondenkarte bietet die Möglichkeit, elektrische Signale vom Tester zum IC-Chip zu leiten, ähnlich wie eine Kabelfernsehbox Signale von der Kabelgesellschaft zu Ihrem Fernseher zu Hause liefern würde.

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Was ist eine Sondenkarte?
Die Wafer-Sondenkarte besteht typischerweise aus einer gedruckten Schaltungsplatine mit einem Satz präzisionsmontierter Sondennadeln. Die Sondennadeln sind die winzigen Stifte mit scharfen Spitzen, die während des Tests die Bondpads oder die Signalanschlüsse auf dem IC-Chip kontaktieren. Die Sondennadeln bestehen in der Regel aus Hochleistungsmetallen wie Wolfram mit sehr guter elektrischer Leitfähigkeit und starken mechanischen Eigenschaften. Der Abstand zwischen benachbarten Sondennadeln kann so eng wie 20–30 Mikrometer sein, weniger als die Hälfte der Breite eines menschlichen Haares, das etwa 80 Mikrometer beträgt. Auf einer Sondenkarte können sich auf wenigen Quadratzentimetern bis zu einige tausend Sondennadeln befinden. Daher erfordert die Herstellung von Sondenkarten enormes technisches Know-how, F&E und geistiges Eigentum (IP). Und gutes Sehen!

Prüfkarten gelten als „Verbrauchsartikel“, da sie nach einer begrenzten Zeit ersetzt oder aufgearbeitet werden müssen. Die nutzbare Lebensdauer einer Sonde wird durch die Anzahl der „Touchdowns“ bestimmt, d. h. wie oft die Nadeln der Sondenkarte mit den Chips auf dem Wafer in Kontakt kommen. Typischerweise halten Sondenkarten zwischen ein paar hunderttausend bis zu einer Million Touchdowns.

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