Probe-Karte - Probe-Test (3825-PC)

  

Overview of Probe Card - Probe Test (3825-PC)

— Eine Prüfkarte ist eine Schnittstelle zwischen einem elektronischen Testsystem und einem Halbleiterwafer. Typischerweise ist die Prüfkarte mechanisch an einen Prüfkopf angedockt und elektrisch mit einem Prüfgerät verbunden. Ihr Zweck besteht darin, einen elektrischen Pfad zwischen dem Testsystem und den Schaltungen auf dem Wafer bereitzustellen, wodurch das Testen und Validieren der Schaltungen auf der Wafer-Ebene ermöglicht wird, üblicherweise bevor sie gewürfelt und verpackt werden. Es besteht normalerweise aus einer gedruckten Leiterplatte (PCB) und irgendeiner Form von Kontaktelementen, gewöhnlich aus Metall, möglicherweise aber auch aus anderen Materialien. Ein Halbleiterhersteller benötigt typischerweise eine neue Prüfkarte für jeden neuen Wafer und für Geräteschrumpfungen (wenn die Herstellung die Größe des Geräts reduziert, aber die Funktionen gleich bleiben), weil die Prüfkarte effektiv ein kundenspezifischer Verbinder ist, der das universelle Muster annimmt eines gegebenen Testers und übersetzt die Signale zum Verbinden mit elektrischen Kontaktstellen auf dem Wafer. Zum Testen von DRAM- und FLASH-Speichervorrichtungen sind diese Kontaktstellen typischerweise aus Aluminium hergestellt und haben 40-90 & mgr; m pro Seite. Andere Vorrichtungen können flache Pads oder erhabene Höcker oder Säulen aus Kupfer, Kupferlegierungen oder vielen Arten von Loten wie etwa Blei-Zinn, Zinn-Silber und anderen aufweisen. Die Prüfkarte muss während des Testens des Geräts einen guten elektrischen Kontakt zu diesen Kontaktstellen oder Kontakthöckern herstellen. Wenn das Testen des Geräts abgeschlossen ist, indiziert der Prüfer den Wafer zum nächsten zu testenden Gerät. Nadelkarten werden je nach Form und Form der Kontaktelemente grob in Nadeltyp, Vertikaltyp und MEMS-Typ eingeteilt. Der MEMS-Typ ist die derzeit fortschrittlichste Technologie. Die fortschrittlichste Art von Prüfkarte kann derzeit einen ganzen 12 Wafer mit einem Touchdown testen. Professional Plastics bietet eine vollständige Palette von Materialien, die in Sondentestgeräten verwendet werden; Polyimid Micro Tubing zum Isolieren von Wolframdrähten, sowie Macor®, Vespel® (Polyimid) und Meldin® (Polyimid) für Testköpfe.