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Wafer-Handling (3559-WH)

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Wafer-Handling (3559-WH)
  

Overview of Wafer Handling (3559-WH)

— Die sichere Handhabung und der automatisierte Transfer von Siliziumwafern in der Halbleiterindustrie erfordert hochpräzise Geräte und Komponenten. Mechanische Haltesysteme für das Handling von Siliziumwafern bergen das Risiko der Beschädigung dieser teuren Artikel, daher hat es höchste Priorität, Lösungen zu finden, die das Verlustrisiko minimieren. Die elektrostatische Waferhandhabung ist eine der möglichen Lösungen und nutzt eine Anziehungskraft auf einen Siliziumwafer unter Verwendung einer elektrostatischen Spannvorrichtung. Leider sind viele Prozesse für die Verwendung dieses Verfahrens nicht gut geeignet, so dass Komponenten wie Endeffektoren, Waferboote, Waferführungen und Vakuumaufnahmewerkzeuge in der Industrie weit verbreitet sind. Diese Komponenten werden typischerweise unter anderem aus Materialien wie Vespel®, Meldin®, Ultem®, PEEK, PFA und ESd-Acetal hergestellt. Professional Plastics führt diese und viele andere Hochleistungsmaterialien, die von Herstellern von Wafer-Handling-Geräten und Halbleiterfabriken verwendet werden. Für weitere Informationen klicken Sie auf die untenstehenden Materialien oder wenden Sie sich an unseren Kundenservice.
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