सीएमपी रिटेनिंग रिंग का अवलोकन - Techtron® PPS ट्यूब |
सीएमपी मशीनों में इस्तेमाल के छल्ले बनाए रखने Techtron® पीपीएस सीएमपी उच्च शुद्धता और लंबे समय तक पहनने Techtron पीपीएस का उपयोग।
पी पी एस कठोर रसायनों और abrasives को दोहराया जोखिम का सामना करना होगा रासायनिक यांत्रिक planarization (सीएमपी) के दौरान 300 मिमी अर्धचालक वेफर्स कि पकड़ के छल्ले बनाए रखना है। अर्धचालक fabricators में सीएमपी के छल्ले में जरूरत कठोरता, पवित्रता और बेरहमी लाभ है कि एक तरह से Techtron® पीपीएस से machined के छल्ले का उपयोग करने के लिए है। इन आकृतियों Fortron® polyphenylene सल्फाइड (पीपीएस) के एक मालिकाना ग्रेड से बने हैं।
Techtron® पी पी एस आकार काफी Acetal, पॉलिएस्टर और जेनेरिक पी पी एस की तुलना में अंगूठी जीवन का विस्तार। प्रक्रिया अनुभव Techtron® पीपीएस शेयर आकार से बने छल्ले इन अन्य सामान्य पी पी एस सामग्री के बने छल्ले के लिए 1,000 से 2,000 चक्र की तुलना में 2,000 से 5,000 सीएमपी चक्र का सामना पता चलता है कि।
Circuitry के लिए उस पर etched है पहले सीएमपी में, एक अर्धचालक वफ़र पर सिलिकॉन डाइऑक्साइड, एल्यूमीनियम, तांबा या अन्य सामग्री की एक परत एक मांग उदासी को पॉलिश है। इस्तेमाल किया घोल चेहरे और पीएच सतह सामग्री पर निर्भर करता है में बदलता है। सीएमपी के दौरान, एक चमकाने पैड एक चीनी मिट्टी के आधार पर मुहिम शुरू की और एक बनाए रखने की अंगूठी में आयोजित एक वेफर के खिलाफ घूमता है। चमकाने के परिसर बर्दाश्त करने के अलावा, अंगूठी dimensionally स्थिर होना चाहिए और चमकाने के दौरान फ्लेक्स नहीं कर सकते।
Techtron® पीपीएस कारतूस 12- 24 in.-लंबे समय के लिए 0.33 से 1.0 करने के लिए ऊंचाई में अलग-अलग बनाए रखने के छल्ले में machined कर रहे हैं कि ट्यूबों कर रहे हैं। 300 मिमी वेफर्स के साथ प्रयोग किया 12 इंच व्यास के छल्ले (आईडी) .375 की दीवार मोटाई है 2.5 में। Techtron® पीपीएस अंगूठी कारतूस के लिए इस्तेमाल किया छिल और तोड़ने को कम करता है और अप करने के लिए 25 प्रतिशत की तन्यता बढ़ाव है कि एक उच्च बेरहमी ग्रेड है।
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विशेषताएं और सीएमपी रिटेनिंग रिंग के लाभ - Techtron® पीपीएस ट्यूब |
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Techtron® पीपीएस सुविधाएँ: सामान्य पी पी एस की तुलना में बेहतर पहनने प्रदर्शन। व्यावसायिक प्लास्टिक की आपूर्ति नहीं करता या मशीन भागों समाप्त हो गया। (ट्यूबों केवल) व्यावसायिक प्लास्टिक के शेयरों में तेजी से वितरण के लिए संयुक्त राज्य अमेरिका और एसई एशिया में Techtron ट्यूबें। हम 12 "और 24" मशीन सीएमपी बनाए रखने के छल्ले के लिए उपयोग किया जाता है, जो लंबे समय से Techtron पीपीएस ट्यूबों शेयर। आवेदन कर सकते हैं न्यूनतम आदेश और नेतृत्व समय
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