VUE D'ENSEMBLE de la bague de retenue CMP - Tubes Techtron® PPS |
Techtron® PPS CMP Anneaux de machines utilisées dans CMP utiliser de haute pureté et longue tenue Techtron PPS.
Anneaux de PPS qui détiennent 300 mm plaquettes de semi-conducteurs au cours de planage chimico-mécanique (CMP) doit résister à une exposition répétée à des produits chimiques et abrasifs. Une façon que les fabricants de semi-conducteurs acquièrent la rigidité, la pureté et la ténacité nécessaire dans les anneaux CMP est d'utiliser des bagues usinées à partir Techtron® PPS. Ces formes sont faites à partir d'une nuance brevetée de Fortron® sulfure de polyphénylène (PPS).
Formes Techtron® PPS prolonger la vie de l'anneau de manière significative par rapport à l'acétal, polyester et PPS générique. l'expérience du processus montre que anneaux fabriqués à partir de Techtron® PPS actions formes résistent 2000 à 5000 cycles CMP par rapport à 1000 à 2000 cycles pour les bagues faites de ces autres matériaux PPS génériques.
Dans CMP, une couche de dioxyde de silicium, d'aluminium, de cuivre ou d'un autre matériau sur une tranche semi-conductrice est polie à une planéité rigoureuse avant circuit est gravé sur elle. La bouillie utilisée varie en fonction du pH et l'abrasivité de la matière de surface. Pendant CMP, un tampon de polissage tourne contre une plaquette montée sur un socle en céramique et tenue à une bague de retenue. En plus de résister à la pâte à polir, la bague doit être indéformable et ne peut pas fléchir au cours du polissage.
Ébauches Techtron® PPS sont de 12 à 24 pouces-longs tubes qui sont usinées dans les bagues de retenue dont la hauteur varie de 0,33 à 1,0. Les anneaux de 12 pouces de diamètre (ID) utilisés avec des wafers 300 mm ont des épaisseurs de paroi de 0,375 à 2,5. Le PPS utilisé pour Techtron® ébauches annulaires est un grade de haute ténacité qui réduit l'écaillage et la rupture et présente un allongement à la traction de jusqu'à 25 pour cent.
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CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES de la bague de retenue CMP - Tubes Techtron® PPS |
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Techtron® PPS Caractéristiques: La performance supérieure à l'usure que les PPS générique. Professional Plastics ne fournit ni machine à pièces finies. (Uniquement des tubes) Les stocks professionnel plastiques TECHTRON Tubes aux Etats-Unis et l'Asie du Sud pour la livraison rapide. Nous avons en stock 12 "et 24" de longs tubes Techtron PPS qui sont utilisés pour la machine CMP bagues de retenue. Commande minimum Mener peut appliquer
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![Anneau de retenue Cmp - Tubes Techtron® Pps]( "Anneau de retenue Cmp - Tubes Techtron® Pps")
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