CMP Anel de Retenção - Tubes Techtron® PPS

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VISÃO GERAL do anel de retenção CMP - Tubos Techtron® PPS

Techtron® PPS retenção do CMP anéis usados em máquinas CMP utilizam de alta pureza e longa vestindo Techtron PPS.

PPS retenção anéis que seguram 300 mm wafers semicondutores durante planarization mecânico-químico (CMP) deve resistir a exposição repetida a produtos químicos e abrasivos. Uma maneira que fabricantes de semicondutores ganhar a rigidez, a pureza ea tenacidade necessária em anéis CMP é usar anéis usinados de Techtron® PPS. Estas formas são feitas a partir de um grau de propriedade de sulfureto de polifenileno Fortron® (PPS).

Formas Techtron® PPS prolongar a vida anel significativamente em comparação com acetal, poliéster e PPS genérico. Processo experiência mostra que anéis feitos de formas de ações Techtron® PPS suportar 2.000 a 5.000 ciclos CMP em comparação com 1.000 a 2.000 ciclos para anéis feitos desses outros materiais PPS genéricos.

Em CMP, uma camada de dióxido de silício, alumínio, cobre ou outro material sobre uma bolacha de semicondutor é polida para um achatamento exigente antes circuito é gravado nela. A suspensão usada varia em abrasividade e pH dependendo do material de superfície. Durante CMP, uma almofada de polimento gira contra uma folha montada sobre uma base de cerâmica e realizada em um anel de retenção. Além de suportar o composto de polimento, o anel tem de ser dimensionalmente estáveis e não pode flectir durante o polimento.

Blanks Techtron® PPS são de 12 a 24 pol de comprimento tubos que são usinados em anéis de retenção variando em altura 0,33-1,0. Os anéis de 12 polegadas de diâmetro (ID) utilizados com 300 mm wafers têm espessuras de parede de 0,375 para 2,5. A Techtron® PPS utilizado para esboços de anel é um alto grau de tenacidade que reduz-lascar e ruptura e possui um alongamento à tracção de até 25 por cento.