OVERZICHT van CMP borgring - Techtron® PPS-buizen |
Techtron® PPS CMP Circlips gebruikt in CMP machines maken gebruik van een hoge zuiverheid en lang te dragen Techtron PPS.
PPS Circlips dat 300 mm halfgeleiderschijven tijdens chemische mechanische Vlak ontwerp (CMP) in het bezit moeten herhaalde blootstelling aan agressieve chemicaliën en schuurmiddelen weerstaan. Een manier die halfgeleider fabrikanten krijgen de stijfheid, zuiverheid en taaiheid nodig in CMP ringen is om ringen vervaardigd uit Techtron® PPS gebruiken. Deze vormen worden gemaakt van een eigen graad van Fortron® polyfenyleensulfide (PPS).
Techtron® PPS vormen verlengen ring leven aanzienlijk in vergelijking met acetal, polyester en generieke PPS. Proces leert de ervaring dat ringen gemaakt van Techtron® PPS voorraad vormen weerstaan ​​2.000 tot 5.000 CMP cycli in vergelijking met 1000 tot 2000 cycli voor ringen van deze andere generische PPS materialen.
In CMP, een laag van siliciumdioxide, aluminium, koper of andere materiaal op een halfgeleider wafer wordt gepolijst om een ​​veeleisende vlakheid voor schakelingen geëtst. De slurry die varieert abrasiveness en pH afhankelijk van het oppervlaktemateriaal. Tijdens CMP, een polijstpad roteert tegen een wafer gemonteerd op een keramische basis en hield in een borgring. Naast weerstaan ​​het polijstmiddel en de ring maatvast en kunnen niet buigen tijdens het polijsten.
Techtron® PPS blanks zijn 12- tot 24-inch-lange buizen die machinaal in borgringen variërend in hoogte 0,33-1,0. De ringen 12-inch diameter (ID) gebruikt met 300 mm wafers hebben wanddikte 0,375 2,5. De Techtron® PPS gebruikt voor ring blanks een hoge taaiheid kwaliteit die vermindert chippen en breken en een trekrek tot 25 procent.
|
|
KENMERKEN EN VOORDELEN van CMP-borgring - Techtron® PPS-buizen |
Techtron® PPS Kenmerken: Superieure slijtage prestaties dan generieke PPS. Professionele Plastics levert niet of de machine klaar delen. (TUBES ALLEEN) Professionele Plastics voorraden Techtron Tubes in de USA & ZO-Azië voor snelle levering. We voorraad 12 "en 24" lang Techtron PPS buizen die worden gebruikt voor het machinaal CMP borgringen. Minimum Orde & levertijd kunnen van toepassing
|
|
|