MPR1000 Semitron®

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APERÇU DU SEMITRON® MPR1000

Semitron® MPR1000 est un nouveau matériau d'ingénierie développé pour les applications à semi-conducteurs et plus particulièrement pour une utilisation dans des applications à chambre à vide telles que celles trouvées dans Etch, CVD et Ion Implant. MPR signifie «résistance maximale au plasma». Ce matériau est conçu pour remplacer le quartz et les céramiques dans les applications à chambre à vide.

Le matériel a été développé sur trois bases:
1. Longévité - Durée de vie accrue dans les chambres à plasma par rapport aux plastiques traditionnels tels que le polyimide (jusqu'à 25 fois plus que le polyimide dans l'ozone)
2. Propre - Faible teneur en métal ionique et faible dégagement de gaz
3. Valeur - Coût total d'utilisation inférieur par rapport aux matériaux traditionnels utilisés dans les applications à chambre à vide telles que le quartz, la céramique et les plastiques techniques

CARACTÉRISTIQUES ET AVANTAGES du Semitron® MPR1000

Caractéristiques de Semitron® MPR1000:

Excellente résistance à la chaleur

Faible teneur ionique et faible dégazage

Faible taux d'érosion dans les chambres à plasma

Excellente résistance aux copeaux, durabilité et usinabilité

Solution plastique la moins chère offrant également le plus haut niveau de performance dans la chambre

Liens Semitron MPR1000 Data Sheet

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