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CasaMPR1000 Semitron®
MPR1000 Semitron®
PANORAMA
Semitron® MPR1000 é um novo material de engenharia desenvolvidos para aplicações de semicondutores e, mais especificamente para uso em aplicações de câmaras de vácuo como estes encontrados em Etch, CVD e Ion Implant.

O material foi desenvolvido com base em três premissas fundamentais:
1. Longevidade - Aumento da vida em câmaras de plasma mais de plásticos tradicionais, como poliimida (até 25X mais de poliimida em ozono)
2. Limpe - Baixo teor de metais iônicos e baixa saída de gás
3. Valor - Menor custo global do consumo em relação aos materiais tradicionais utilizados em aplicações de câmaras de vácuo, como quartzo, cerâmica e plásticos de engenharia

CARACTERÍSTICAS E BENEFÍCIOS
Características do Semitron® MPR1000:
  • Excelente resistência ao calor
  • Baixo conteúdo iônico e baixa saída de gás
  • Baixa taxa de erosão em câmaras de plasma
  • Excelente resistência de chip, durabilidade e usinabilidade
  • Solução de plástico menor custo, que também fornece o mais alto nível de desempenho na câmara
  •    (Semitron MPR1000) MPR1000 Semitron®

    Semitron® MPR1000 links Folha Semitron MPR1000 Dados


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