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MPR1000 Semitron®

VISÃO GERAL do Semitron® MPR1000

O Semitron® MPR1000 é um novo material de engenharia desenvolvido para aplicações de semicondutores e, mais especificamente, para uso em aplicações de câmaras de vácuo, como as encontradas em Implantes Etch, CVD e Ion. MPR significa Maximum Plasma Resistance. Este material foi concebido para substituir o Quartz & Ceramics em aplicações de câmaras de vácuo.

O material foi desenvolvido com base em três premissas principais:
1. Longevidade - Maior vida útil das câmaras de plasma em relação aos plásticos tradicionais, como a poliimida (até 25X sobre a poliimida no ozônio)
2. Clean - Baixo teor de metais iônicos e baixa emissão de gases
3. Valor - Menor custo total em uso em comparação com os materiais tradicionais usados em aplicações de câmaras de vácuo, como quartzo, cerâmica e plásticos de engenharia.

CARACTERÍSTICAS E BENEFÍCIOS do Semitron® MPR1000

Recursos do Semitron® MPR1000:
  • Excelente resistência ao calor
  • Baixo conteúdo iônico e baixo consumo de gás
  • Baixa taxa de erosão em câmaras de plasma
  • Excelente resistência a lascas, durabilidade e usinabilidade
  • Solução plástica de menor custo que também fornece o mais alto nível de desempenho na câmara
  • (Semitron MPR1000) MPR1000 Semitron®
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