웨이퍼 처리 (3559-WH)

반도체 업계에서 실리콘 웨이퍼를 안전하게 취급하고 자동 이송하기 위해서는 고정밀 장비와 부품이 필요합니다. 실리콘 웨이퍼 처리에 사용되는 기계식 유지 시스템은 이러한 고액 품목에 손상을 줄 수 있으므로 손실 위험을 최소화하는 솔루션을 찾는 것이 최우선 과제입니다. 정전기 웨이퍼 핸들링은 가능한 해결책 중 하나이며 정전기 척을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 인력을 사용합니다. 불행히도 많은 공정이이 방법의 사용에 적합하지 않기 때문에 엔드 이펙터, 웨이퍼 보트, 웨이퍼 가이드 및 진공 픽업 툴과 같은 부품이 업계에서 널리 사용됩니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 Vespel®, Meldin®, Ultem®, PEEK, PFA 및 ESd Acetal과 같은 재료로 만들어집니다. Professional Plastics는 웨이퍼 처리 장비 제조업체 및 반도체 공장에서 사용되는 이들 및 기타 많은 고성능 소재를 보유하고 있습니다. 자세한 내용은 아래의 자료를 클릭하거나 고객 서비스 부서에 문의하십시오.

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