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Semitron® MPR1000
Semitron® MPR1000
개요
Semitron® MPR1000 반도체 애플리케이션을위한 더 구체적 에칭, CVD, 이온 임플란트 검색된 이들과 같은 진공 용기의 용도로 개발 된 새로운 엔지니어링 재료이다.

소재는 세 가지 핵심 전제를 기반으로 개발되었다 :
1. 장수 - 폴리이 미드와 같은 전통적인 플라스틱을 통해 플라즈마 챔버의 수명 증가 (25 배까지 오존 폴리이 미드 이상)
2. 청소 - 낮은 이온 성 금속 함량과 낮은 가스 방출
3. 값 - 석영, 세라믹 등의 진공 챔버 애플리케이션에 사용 전통적인 재료에 비해 사용 전반적인 비용 및 엔지니어링 플라스틱

기능 및 이점
Semitron®의 MPR1000의 특징 :
  • 우수한 내열성
  • 낮은 이온 콘텐츠 및 낮은 가스 방출
  • 플라즈마 챔버 침식의 저렴한 요금
  • 우수한 칩 저항, 내구성, 가공성
  • 또한, 챔버 내에서 가장 높은 수준의 성능을 제공하는 최저 비용 플라스틱 용액
  •    (SEMITRON MPR1000) Semitron® MPR1000

    Semitron® MPR1000 링크 Semitron MPR1000 데이터 시트


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