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Semitron® MPR1000

Semitron® MPR1000 개요

Semitron® MPR1000은 반도체 응용 분야, 특히 Etch, CVD 및 Ion Implant에서 볼 수있는 진공 챔버 응용 분야에서 사용하기 위해 개발 된 새로운 엔지니어링 소재입니다. MPR은 Maximum Plasma Resistance (최대 플라즈마 저항)의 약자입니다. 이 소재는 진공 챔버 응용 분야의 석영 및 세라믹을 대체하도록 설계되었습니다.

이 자료는 세 가지 핵심 전제를 기반으로 개발되었습니다.
1. 장수명 - 폴리이 미드 (폴리이 미드 대비 25 배 이상)와 같은 기존 플라스틱에 비해 플라즈마 챔버의 수명이 증가합니다.
2. 청결 - 낮은 이온 금속 함량과 낮은 가스 배출
3. 가치 - 석영, 세라믹 및 엔지니어링 플라스틱과 같은 진공 챔버 응용 분야에 사용되는 전통적인 소재와 비교할 때 전반적인 사용 비용 절감

Semitron® MPR1000의 기능 및 이점

Semitron® MPR1000의 특징 :
  • 우수한 내열성
  • 낮은 이온 성 함량 및 낮은 가스 배출
  • 플라즈마 챔버에서의 낮은 부식 속도
  • 우수한 칩 저항성, 내구성 및 기계 가공성
  • 챔버 내에서 최고 수준의 성능을 제공하는 최저 비용의 플라스틱 솔루션
  • (SEMITRON MPR1000) Semitron® MPR1000
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