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프로브 카드 및 프로브 테스트 장비
무엇 프로브 카드입니까? 웨이퍼 프로브 카드는 반도체 제조 회사가 웨이퍼 테스트에 사용되는 하드웨어의 필수적인 부분입니다. 웨이퍼 검사는 전기적으로 해당 칩 기능적 좋은지 나쁜지를 결정하기 위해 웨이퍼 상 개별 칩을 테스트하는 과정이다. 이는 반도체 제조에서 가장 중요한 공정 중 하나이다. 테스트를 수행 (ATE) 자동 시험 장비는 IC 시험기, 테스트 헤드 및 테스트 헤드 매니퓰레이터 구성된다. 프로브 카드는 일반적으로 테스트 헤드에 장착되고, 전기 케이블 (도면 참조)을 통해 IC 테스터에 접속된다. 프로브 카드는 케이블 TV 박스가 집에서 텔레비전 케이블 회사로부터 신호를 전달하는 방법과 유사한 IC 칩에 테스터로부터 전기 신호를 수행 할 수있는 수단을 제공한다.
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    프로브 카드는 무엇인가?
    웨이퍼 프로브 카드는 일반적으로 조립 정밀도 프로브 바늘의 세트와 인쇄 회로 기판으로 구성된다. 프로브 바늘 테스트하는 동안 IC 칩에, 본드 패드, 또는 신호 단자 문의 날카로운 팁 작은 핀이다. 프로브 바늘은 일반적으로 매우 우수한 전기 전도도 및 강한 기계적 특성을 갖는 텅스텐 같은 고성능 금속으로 만들어진다. 인접한 프로브 바늘 사이의 간격은 20 ~ 30 미크론, 80 미크론 인간의 머리카락의 절반 이하 폭만큼 꽉 될 수 있습니다. 프로브 카드에 몇 cm2의 공간에서 몇 천 프로브 바늘만큼있을 수 있습니다. 따라서, 프로브 카드의 제조는 거창한 전문 기술, R & D 및 지적 재산권 (IP)가 필요 하나입니다. 그리고 좋은 시력!

    을 교체 또는 유한 기간 후에 개조 할 필요가로 프로브 카드는 '소모품'으로 간주됩니다. 프로브의 사용 수명은 프로브 카드의 바늘은 웨이퍼상의 칩에 접촉하는 횟수 인 '터치 다운'의 수에 의해 결정된다. 일반적으로 많은 백만으로 터치 다운에 수십만 사이에 마지막 카드를 프로브.

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