ウェハハンドリング（3559-WH）

  

Overview of Wafer Handling (3559-WH)

— 半導体産業におけるシリコンウェハの安全な取り扱いおよび自動化された移送は、高精度の設備および部品を必要とする。シリコンウェーハの取り扱いに使用される機械式保持システムは、これらの高額商品に損害を与える危険があるため、損失リスクを最小限に抑えるソリューションを見つけることが最優先事項です。静電ウェハハンドリングは可能な解決策の1つであり、静電チャックを使用することによってシリコンウェハに引力を利用する。残念なことに、この方法の使用には多くのプロセスが適していないため、エンドエフェクタ、ウェーハボート、ウェーハガイド、真空ピックアップツールなどのコンポーネントが業界で広く使用されています。これらの成分は、典型的には、Vespel（登録商標）、Meldin（登録商標）、Ultem（登録商標）、PEEK、PFA、およびAcetalなどの材料から製造される。プロフェッショナルプラスチックスは、ウェーハハンドリング機器や半導体工場のメーカーが使用するこれらの高性能材料を多数取り揃えています。詳細については、以下の資料をクリックするか、カスタマーサービス部門にお問い合わせください。

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