ウェハハンドリング（3559-WH）

  

Overview of Wafer Handling (3559-WH)

— 半導体産業におけるシリコンウェーハの安全な取り扱いと自動転送には、高精度の機器とコンポーネントが必要です。シリコンウェーハの取り扱いに使用される機械的保持システムは、これらの高額商品に損傷を与えるリスクがあるため、損失のリスクを最小限に抑えるソリューションを見つけることが最優先事項です。静電ウェーハ処理は可能な解決策の1つであり、静電チャックを使用することにより、シリコンウェーハにかかる引力を利用します。残念ながら、多くのプロセスはこの方法の使用に適していないため、エンドエフェクタ、ウェーハボート、ウェーハガイド、真空ピックアップツールなどのコンポーネントが業界で広く使用されています。これらのコンポーネントは通常、Vespel®、Meldin®、Ultem®、PEEK、PFA、ESdAcetalなどの材料で作られています。 Professional Plasticsは、ウェーハ処理装置のメーカーや半導体ファブで使用されるこれらおよび他の多くの高性能材料を在庫しています。詳細については、以下の資料をクリックするか、カスタマーサービス部門にお問い合わせください。

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