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スポットライト産業
ウェットプロセス - ベンチのFab（3559-WB）
ウェットプロセス - ベンチファブ
ウェットベンチは、ウェーハから望ましくないまたは不要なフィルムをエッチング除去するためにウェーハファブに使用されます。これらはまた、プロセス全体の次のステップのためにウェーハの表面を準備するためにも使用されます。あまり洗練されていないウェットベンチは、しばしばFabでクォーツなどを清掃するために使用されています...
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ESDは、静電気放電の頭字語です。何度も、「静電気放電の安全」という用語として誤って使用されています。 反静的、導電性、および散逸という用語は、ESDをより細かく細分する用語です。
  • 絶縁性のものはESD安全とはみなされません。
    材料は、個々の表面抵抗に基づいてこれらの用語に分割されます。表面抵抗は、電荷が媒体をどれだけ容易に移動できるかの測定値です。
  • 導電性材料は、1×10 5オーム/平方未満の表面抵抗を有する材料である。
  • 散逸品は1×10 5オーム/平方以上1×10 11オーム/平方未満の表面抵抗を有する。
  • 帯電防止材料は、一般に、摩擦帯電を抑制する任意の材料と呼ばれる。この種の帯電は、摩擦または別の材料との接触による電荷の蓄積である。
  • 絶縁性材料は、1×10 12オーム/平方以上の表面抵抗を有するものである。
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