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Semitron®MPR1000

Semitron®MPR1000の概要

Semitron®MPR1000は、半導体用途向けに開発された新しいエンジニアリング材料であり、特にEtch、CVD、およびIon Implantに見られるような真空チャンバ用途での使用向けです。 MPRは最大耐プラズマ性を表す。この材料は、真空チャンバの用途でQuartz&Ceramicsに代わるものとして設計されています。

この資料は3つの主要な前提に基づいて開発されました。
長寿命 - ポリイミドのような伝統的なプラスチックよりもプラズマチャンバ内での寿命の向上(オゾン中のポリイミドの最大25倍)
2.クリーン - 低イオン性金属含有量と低アウトガス
3.価値 - 石英、セラミック、エンジニアリングプラスチックなどの真空チャンバ用途で使用される従来の材料と比較して、使用全体のコストが低い

Semitron®MPR1000の機能と利点

Semitron®MPR1000の特徴:
  • 優れた耐熱性
  • 低イオン含有量と低アウトガス
  • プラズマ室の低侵食速度
  • 優れた耐チップ性、耐久性、および被削性
  • チャンバ内で最高レベルの性能を提供する、低コストのプラスチックソリューション
  • (SEMITRON MPR1000)Semitron®MPR1000
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