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Semitron®MPR1000
概要
Semitron®MPR1000は、半導体用途のために開発され、より具体的にエッチング、CVDおよびイオンインプラントに見られるこれらの真空チャンバの用途に使用するための新たなエンジニアリング材料である。

材料は3つの重要な前提に基づいて開発された:
1.長寿 - (オゾンでポリイミド上25Xまで)ポリイミドなどの伝統的なプラスチック上にプラズマチャンバで増加生活
2.クリーン - 低イオン金属含有量と低ガス放出
3.値 - 、石英、セラミック、エンジニアリングプラスチックなどの真空室用途で使用される従来の材料に比べて、使用中のより低い全体的なコスト

機能と利点
Semitron®MPR1000の特徴:
  • 優れた耐熱性
  • 低イオン含有量&低ガス放出
  • プラズマチャンバ内の浸食率の低さ
  • 優れた耐チッピング性、耐久性、被削性
  • また、チャンバー内の最高レベルのパフォーマンスを提供し、最低コストのプラスチック·ソリューション
  •    (SEMITRON MPR1000)Semitron®MPR1000

    Semitron®MPR1000リンク Semitron MPR1000データシート


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