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ホームCMPは、リングの保持 - Techtron®PPSの管を
CMPは、リングの保持 - Techtron®PPSの管を
概要
CMP機で使用される保持リングTechtron®PPS CMPは、高純度&長時間履いてテクトロンPPSを利用する。

PPSは、過酷な化学薬品および研磨剤への反復暴露に耐えなければならない、化学的機械的平坦化(CMP)中の300mmの半導体ウェハを保持するリングを保持。半導体加工業者は、CMPリングで必要な剛性、純度と靭性を得ることを一つの方法は、Techtron®PPSから機械加工リングを使用することです。これらの形状はFortron®のポリフェニレンサルファイド(PPS​​)の独自のグレードから作られている。

Techtron®PPS形状はアセタール、ポリエステルおよび汎用PPSと比較して有意にリング寿命を延ばす。プロセスの経験はTechtron®PPSストック形状から作らリングは、これらの他の一般的なPPS材料で作られたリング1000 2000サイクルと比較して、2000〜5000のCMPサイクルに耐えることを示している。

回路がその上にエッチングされる前に、CMPは、半導体ウエハ上の二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、銅または他の材料の層は厳しい平坦度に研磨される。使用されるスラリーは、研磨性、pHが表面材料に依存して変化する。 CMP中に、研磨パッドは、セラミックベース上に取り付けられ、保持リングに保持されたウエハに対して回転する。研磨用組成物に耐えることに加えて、リングは、寸法的に安定でなければならず、研磨中に曲がることができない。

Techtron®PPSブランク12〜24インチ長の0.33から1.0までの高さが変化する保持リングに機械加工された管である。300mmウェーハと共に使用する12インチ径のリングが(ID)0.375の壁厚を有する2.5への。Techtron®PPSはリングブランクに使用チッピングや破損が減少し、最大で25パーセントの引張伸びを有する高靭性グレードです。

機能と利点
Techtron®PPSの特徴:
  • ジェネリックPPSより優れた耐摩耗性能。
  • 専門のプラスチックは、電源や機械部品が終了していません。 (ONLY TUBES)
  • 高速配信のためのUSA&SEアジアの専門のプラスチックは、株式テクトロンチューブ。
  • 我々はマシンのCMP保持リングに使用されている12 "&24"長いテクトロンPPSチューブをストック。
  • 最小注文&リードタイムが適用される場合があります
  •    (PPSの保持リング)CMPは、リングの保持 - Techtron®PPSの管を

    リンク:
  • Techtron PPSデータシート
  • 耐薬品性チャート
  • Techtron PPSロッド&プレート

    Techtron®PPSチューブはシンガポールと台湾の倉庫に在庫されています


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