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プローブカード - プローブテスト(3825-PC)

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プローブカード - プローブテスト(3825-PC)
  

Overview of Probe Card - Probe Test (3825-PC)

— プローブカードは、電子テストシステムと半導体ウェハとの間のインターフェースである。典型的には、プローブカードはプローバに機械的にドッキングされ、テスタに電気的に接続される。その目的は、テストシステムとウェハ上の回路との間に電気的経路を提供することであり、これにより、ウェハレベルでの回路のテストおよび検証が可能になり、通常はダイシングされてパッケージ化される。それは、通常、プリント回路基板(PCB)と、通常は金属製であるが、場合によっては他の材料からなる何らかの形態の接触要素とからなる。プローブカードは事実上ユニバーサルパターンをとるカスタムコネクタであるため、半導体製造業者は、一般に、新しいデバイスウェハごとに、およびデバイスが縮小する(デバイスのサイズを縮小するが機能は同じにする)ために、与えられたテスタの信号を変換し、信号を変換してウェーハ上の電気パッドに接続する。 DRAMおよびFLASHメモリ装置の試験のために、これらのパッドは、典型的にはアルミニウム製であり、1辺40-90μmである。他のデバイスは、平坦なパッド、または銅、銅合金、または鉛 - 錫、錫 - 銀などの多くの種類のはんだからなる隆起したバンプまたはピラーを有することができる。プローブカードは、デバイスのテスト中にこれらのパッドまたはバンプに良好な電気的接触を行わなければなりません。装置の試験が完了すると、プローバは試験すべき次の装置にウエハをインデックスする。プローブカードは、コンタクト素子の形状や形状によって、針状、縦型、MEMS型に大別される。 MEMSタイプは現在利用可能な最先端技術です。最も進んだタイプのプローブカードは、現在、ワンタッチで12枚のウエハ全体をテストすることができます。プロフェッショナルプラスチックスは、プローブ試験装置に使用される材料のフルレンジを提供しています。タングステンワイヤーの絶縁に使用されるポリイミドマイクロチューブ、テストヘッドに使用されるMacor®、Vespel®(ポリイミド)、Meldin®(ポリイミド)

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