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CasaCMP Anillo de retención - Tubos Techtron® PPS
CMP Anillo de retención - Tubos Techtron® PPS
PANORAMA
Techtron® PPS retención del CMP anillos usados ​​en máquinas CMP utilizan alta pureza y de larga duración Techtron PPS.

PPS Anillos de retención que sujetan obleas de 300 mm de semiconductores durante planarización químico mecánico (CMP) debe soportar la exposición repetida a productos químicos agresivos y abrasivos. Una manera en que los fabricantes de semiconductores obtienen la rigidez, la pureza y dureza necesaria en anillos CMP es usar anillos mecanizadas a partir Techtron® PPS. Estas formas están hechas de un grado de propiedad de Fortron® sulfuro de polifenileno (PPS).

Formas Techtron® PPS extienden la vida del anillo de manera significativa en comparación con acetal, poliéster y genérica PPS. Proceso experiencia muestra que los anillos hechos de Techtron® PPS formas comunes soportan 2.000 a 5.000 ciclos de CMP en comparación con 1000 a 2000 ciclos para anillos de estos otros materiales genéricos PPS.

En CMP, una capa de dióxido de silicio, aluminio, cobre u otro material sobre una oblea de semiconductor es pulida a una planitud exigente antes de circuitos está grabado en él. La suspensión se utiliza varía en abrasividad y pH en función del material de la superficie. Durante CMP, una almohadilla de pulido gira contra una oblea montado sobre una base de cerámica y se mantiene en un anillo de retención. Además de soportar el compuesto de pulido, el anillo debe ser dimensionalmente estable y no puede flexionar durante el pulido.

Espacios en blanco Techtron® PPS son de 12 a 24 pulgadas de largos tubos que están mecanizadas en los anillos de retención que varían en altura de 0,33 a 1,0. Los anillos de 12 pulgadas de diámetro (ID) usado con obleas de 300 mm tienen espesores de pared de 0,375 a 2,5 en Techtron® El PPS utiliza para piezas en bruto de anillo. es un grado de alta dureza que reduce el astillado y romper y tiene un alargamiento a la tracción de hasta 25 por ciento.

CARACTERÍSTICAS Y VENTAJAS
Techtron® PPS Características:
  • Rendimiento de desgaste Superior de genéricos PPS.
  • Plásticos profesionales no suministra o máquina de piezas acabadas. (SOLAMENTE TUBOS)
  • Stocks plásticos profesionales TECHTRON Tubos en los EE.UU. y el sudeste de Asia para la entrega rápida.
  • Disponemos de 12 "y 24" de largo tubos Techtron PPS que se utilizan para la máquina CMP Anillos de Retención.
  • Orden mínima y plomo vez puede aplicar
  •    (PPS ANILLO DE RETENCIÓN) de retención del CMP Ring - Tubos Techtron® PPS

    Campo de golf:
  • Techtron PPS Hoja de Datos
  • Tabla de Resistencia Química
  • Techtron PPS Varillas y placas

    Los tubos Techtron® PPS están almacenados en nuestros almacenes de Singapur y Taiwán


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