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Grados Kalrez® semiconductores
PANORAMA
Grados Kalrez® Semiconductor:
Kalrez® Sahara ™ 8375
La más reciente adición a la familia de productos Sáhara ultrapura. Este compuesto se formula usando una mezcla especial de carga blanca que le permite soportar los entornos de procesamiento en seco y de plasma más severas. Este compuesto blanco ha sido optimizado para la pérdida de peso bajo y baja generación de partículas en bothO2 y flúor plasmas. Su combinación de rendimiento a altas temperaturas, propiedades mecánicas y características de baja deformación permanente por compresión convierten en una excelente elección tanto para aplicaciones de sellado de proceso seco estáticas y dinámicas (por ejemplo, válvulas de compuerta, sellos de las puertas, juntas tapa de la cámara, etc.). Se sugiere una temperatura máxima de servicio continuo de 300 ° C (572 ° F). Servicio estático y dinámico en todos los productos químicos secos y plasmas. Ultrapura después de la limpieza y embalaje es estándar para todas las partes hechas de compuesto 8375.

Kalrez® Sahara ™ 8385
El compuesto original en la familia Sahara de los productos desarrollados como resultado de los esfuerzos en curso en colaboración con los fabricantes de equipos y fábricas de la industria clave. Es una excelente resistencia a exposiciones químicas de plasma y de proceso seco. Este compuesto blanco 83 durómetro tiene buenas propiedades mecánicas y excelente rendimiento de sellado de vacío y es muy adecuado para muchas aplicaciones estáticas y dinámicas (por ejemplo, sellos de tubo de cuarzo, sellos de las puertas, juntas de labios, etc.). Se sugiere una temperatura máxima de servicio continuo de 275 ° C (527 ° F). Servicio estático y dinámico en todos los productos químicos secos y plasmas. Ultrapura después de la limpieza y embalaje es estándar para todas las partes hechas de compuesto 8385.

Kalrez® Sahara ™ 8575
La más reciente adición a la familia de productos Sáhara ultrapura. Este compuesto, especialmente formulado para mejorar el rendimiento en etch, ECV y strippingprocesses, ofrece un menor coste de propiedad con una menor contaminación y vida útil del sello. Este compuesto perfluoroelastómero blanco utiliza un nuevo sistema de polímero y el entrecruzamiento de propiedad. Se basa en la excelente resistencia plasma de Kalrez Sahara 8375 con la pérdida de peso reducido, la generación de partículas y la desgasificación, así asimproved propiedades de recuperación elástica. Sahara Plasma 8575 ofrece una excelente resistencia tanto plasma O2 y flúor asícomo gases chlorinatedcleaning (por ejemplo, ClF3), exhibe vacío axcellent y rendimiento de sellado a largo plazo, tiene buenas propiedades mecánicas y es muy adecuado para aplicaciones de sellado proceso seco estáticas y dinámicas ( hendidura puertas de válvulas, tapas de las cámaras, entradas de gas, ect) Es el máximo grado de la temperatura de servicio continuo de 280 ° C (536 ° F) está muy por encima de los requisitos típicos de sellos utilizados en estos procesos. Ultrapura después de la limpieza y embalaje es estándar para todas las partes hechas de plasma 8575.

Kalrez® 8101
Ofrece una excelente característica conjunto de compresión para procesos químicos secos y entornos de plasma. Su calificación alta temperatura de servicio, características de baja desgasificación, y baja dureza la hacen muy adecuada para servicio de vacío y baja tensión / fuerza de sellado aplicaciones estáticas bajas. Se sugiere una temperatura máxima de servicio continuo de 300 ° C (572 ° F). Servicio de tensión estática y baja en productos químicos secos y plasmas. Ultrapura después de la limpieza y embalaje es estándar para todas las partes fabricado con compuesto 8101

Kalrez compuestos industriales a veces se utilizan en aplicaciones de semiconductores:
Kalrez® 4079
Un compuesto de bajo conjunto de compresión para uso general en las juntas tóricas, diafragmas, focas y otras piezas utilizadas en las industrias de proceso y de aeronaves, así como muchos entornos de proceso de semiconductores húmedas y secas. Es un compuesto carga de negro de carbono con una excelente resistencia química, buenas propiedades mecánicas, y excelentes propiedades de envejecimiento en caliente de aire. Se presenta bajo oleaje en un ácidos y aldehídos inorgánicos orgánicos y tiene buena respuesta a los efectos de ciclismo temperatura. Se recomienda una temperatura máxima de 316ºC (600ºF), con excursiones cortas a temperaturas más altas posibles. Estático y dinámico, alta temperatura húmeda y seca, excepto) 2 / C12 plasmas. Este compuesto no está recomendado para uso en aplicaciones de agua caliente / vapor o en contacto con ciertas aminas alifáticas calientes, etileno

Kalrez® 2037
Un negro no llena de compuesto que es muy adecuado para aplicaciones seleccionadas n la industria farmacéutica, semiconductores y otros mercados que exigen elastómeros de alta pureza. Compuesto 2037 tiene excelente resistencia química que presenta un bajo hinchamiento en ácidos orgánicos, ácidos inorgánicos, ésteres, cetonas y aldehídos. sino que también ofrece buenas propiedades mecánicas. Se recomienda una temperatura máxima de servicio de 220ºC (428ºF). Servicio estático y dinámico en polvo químico seco hasta 200ºC (428ºF).

Kalrez® 4001
Un compuesto no llena, lo que es muy adecuado para aplicaciones selectas de alta pureza en farmacéutica, de semiconductores y otros mercados. Se ha demostrado un buen desempeño en oxígeno y un excelente rendimiento en entornos que contiene ozono. su calificación alta temperatura de servicio y baja arnés lo hacen adecuado para el servicio de vacío y baja stress.low sellado fuerza aplicaciones estáticas. Se sugiere una temperatura máxima de servicio continuo de 275ºC (527ºF). Servicio estático en medios rico en ozono y aplicaciones de baja fuerza de sello. Ultrapura después de la limpieza y embalaje es opcional

Kalrez® 1050LF
Un compuesto de uso general para las juntas tóricas, sellos y otras piezas utilizadas en las industrias de procesos químicos. Su también se recomienda para su uso en determinados semiconductores húmedo aplicaciones de proceso donde las altas concentraciones de ciertas aminas están presentes. Tiene buena agua caliente / vapor, excelente resistencia amina, y mejoradas propiedades de deformación por compresión. Temperatura de servicio recomendada máxima de 288ºC (527ºF). Aplicaciones especiales; medios amina húmedo o baja desgasificación a alta temperatura. No se recomienda su uso en ácidos orgánicos o inorgánicos en alto temperaturas.

CARACTERÍSTICAS Y VENTAJAS
Grados Kalrez® semiconductores están disponibles de los plásticos profesionales.
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