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Semitron® MPR1000

ÜBERSICHT über Semitron® MPR1000

Semitron® MPR1000 ist ein neues technisches Material, das für Halbleiteranwendungen und insbesondere für Vakuumkammeranwendungen wie Ätz-, CVD- und Ionenimplantate entwickelt wurde. MPR steht für maximale Plasmabeständigkeit. Dieses Material ersetzt Quarz und Keramik in Vakuumkammern.

Das Material wurde auf der Grundlage von drei Schlüsselprämissen entwickelt:
1. Langlebigkeit - Erhöhte Lebensdauer in Plasmakammern gegenüber herkömmlichen Kunststoffen wie Polyimid (bis zu 25-fache Lebensdauer gegenüber Polyimid in Ozon)
2. Reinigen - Geringer Ionenmetallgehalt und geringe Ausgasung
3. Wert - Geringere Gesamtnutzungskosten im Vergleich zu herkömmlichen Materialien, die in Vakuumkammeranwendungen wie Quarz, Keramik und technischen Kunststoffen verwendet werden

FUNKTIONEN UND VORTEILE von Semitron® MPR1000

Eigenschaften von Semitron® MPR1000:
  • Hervorragende Hitzebeständigkeit
  • Geringer Ionengehalt und geringe Ausgasung
  • Geringe Erosionsrate in Plasmakammern
  • Hervorragende Spänebeständigkeit, Haltbarkeit und Bearbeitbarkeit
  • Kostengünstigste Kunststofflösung mit höchster Leistung in der Kammer
  • (SEMITRON MPR1000) Semitron® MPR1000
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