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Semitron®MPR1000

Semitron®MPR1000概述

Semitron®MPR1000是一种新型工程材料,专为半导体应用而开发,更具体地用于真空室应用,例如Etch,CVD和Ion Implant中的应用。 MPR代表最大等离子电阻。该材料旨在取代真空室应用中的石英和陶瓷。

该材料是基于三个关键前提开发的:
1.使用寿命 - 与传统塑料(如聚酰亚胺)相比,等离子室的使用寿命更长(在臭氧中比聚酰亚胺高25倍)
2.清洁 - 低离子金属含量和低排气
3.价值 - 与石英,陶瓷和工程塑料等真空室应用中使用的传统材料相比,降低了总体使用成本

Semitron®MPR1000的特点和优点

Semitron®MPR1000的特点:
  • 优异的耐热性
  • 低离子含量和低排气
  • 等离子体室中的侵蚀率低
  • 优异的抗碎裂性,耐用性和可加工性
  • 最低成本的塑料解决方案,可在腔室中提供最高水平的性能
  • (SEMITRON MPR1000)Semitron®MPR1000
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