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Semitron®MPR1000
Semitron®MPR1000
概述
Semitron®MPR1000是半導體應用和更具體的在真空室中的應用,如在這些蝕刻,CVD和離子注入發現使用而開發的新型工程材料。

基於三個關鍵處所材料的開發:
1.長壽 - 增加壽命比傳統塑料等離子腔體,如​​聚酰亞胺(高達25倍以上的聚酰亞胺臭氧)
2.清潔 - 低金屬離子含量和低放氣
3.值 - 在使用較低的總成本相比,在真空室中的應用,如石英,陶瓷中使用傳統的材料,和工程塑料

特性和優點
Semitron®MPR1000的特點:
  • 優良的耐熱性
  • 低離子含量,低放氣
  • 糜爛等離子腔體的低利率
  • 優良抗碎裂性,耐久性和可加工
  • 成本最低的解決方案,塑料也提供了最高的性能水平,在室
  •    (SEMITRON MPR1000)Semitron®MPR1000

    Semitron®MPR1000鏈接 SEMITRON MPR1000數據表


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