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CasaCMP anello - Tubi Techtron® PPS
CMP anello - Tubi Techtron® PPS
PANORAMICA
Techtron® PPS CMP Anelli elastici utilizzati nelle macchine CMP utilizzano elevata purezza e di lunga durata Techtron PPS.

PPS Anelli elastici che tengono 300 mm wafer semiconduttori durante chimica planarization meccanica (CMP) devono sostenere l'esposizione ripetuta a prodotti chimici corrosivi e abrasivi. Un modo che costruttori di semiconduttori ottenere la rigidità, la purezza e la durezza necessaria in anelli CMP è quello di utilizzare gli anelli lavorati da Techtron® PPS. Queste forme sono fatte da un grado di proprietà di Fortron® polifenilensolfuro (PPS).

Forme Techtron® PPS estendere la vita anello in modo significativo rispetto al acetalica, poliestere e generico PPS. L'esperienza di processo dimostra che gli anelli realizzati Techtron® PPS azionari forme resistono 2.000 a 5.000 cicli CMP rispetto a 1.000 a 2.000 cicli di anelli fatti di questi altri materiali generici PPS.

In CMP, uno strato di diossido di silicio, alluminio, rame o altro materiale su un wafer semiconduttore è lucidato per una planarità esigente prima circuiteria è inciso su di esso. La sospensione utilizzato varia in abrasività e pH seconda del materiale di superficie. Durante CMP, un tampone di lucidatura ruota contro un wafer montato su una base di ceramica e tenuto in un anello di ritenuta. Oltre a sopportare il composto di lucidatura, l'anello deve essere dimensionalmente stabile e non può flettere durante la lucidatura.

Grezzi Techtron® PPS sono 12 a 24-pollici lunghi tubi che vengono lavorati in anelli di sicurezza che variano in altezza 0,33-1,0 in. Gli anelli da 12 pollici di diametro (ID) usati con wafer da 300 mm hanno spessori di parete di 0,375 a 2,5 Il Techtron® PPS utilizzato per sbozzi anello in. è un grado di alta tenacità che riduce scheggiature e rottura e ha un allungamento a trazione fino al 25 per cento.

CARATTERISTICHE E VANTAGGI
Techtron® PPS Caratteristiche:
  • Prestazioni di usura superiore rispetto generico PPS.
  • Plastica professionale non fornisce o della macchina pezzi finiti. (SOLO TUBI)
  • Scorte plastica professionale Techtron Tubes negli Stati Uniti e Sud-Est asiatico per la consegna veloce.
  • Disponiamo di 12 "e 24" lunghi tubi Techtron PPS che vengono utilizzati per la macchina CMP anelli di tenuta.
  • Minimum Order & Tempo di consegna, eventuali da verificare
  •    (PPS ANELLO) CMP anello - Tubi Techtron® PPS

    Link:
  • Scheda Techtron PPS dati
  • Tabella di resistenza chimica
  • Techtron PPS Rods & Plates

    Techtron® PPS Tubes sono immagazzinati nei nostri magazzini Singapore e Taiwan


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