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ZuhauseSemitron® MPR1000
Semitron® MPR1000
ÜBERSICHT
Semitron® MPR1000 ist eine neue für Halbleiteranwendungen und insbesondere für den Einsatz in Vakuumkammer solche Anwendungen in Etch, CVD und Ion Implantat gefunden entwickelte Konstruktionswerkstoff.

Das Material wurde auf Basis von drei Haupträumen entwickelt:
1. Langlebigkeit - Mehr Leben in Plasmakammern gegenüber herkömmlichen Kunststoffen wie Polyimid (bis zu 25X über Polyimid in Ozon)
2. Reinigen - Geringe ionische Metallgehalt und niedrige Ausgasung
3. Wert - Niedrigere Gesamtkosten im Vergleich zur Verwendung in Vakuumkammer Anwendungen wie Quarz, Keramik verwendet traditionelle Materialien und technische Kunststoffe

LEISTUNGSMERKMALE
Merkmale Semitron® MPR1000:
  • Ausgezeichnete Hitzebeständigkeit
  • Niedriger Ionengehalt und niedrige Ausgasung
  • Low Erosionsrate in Plasmakammern
  • Hervorragende Schlagfestigkeit, Haltbarkeit und Verarbeitbarkeit
  • Niedrigste Kosten Kunststoff-Lösung, die auch bietet die höchste Leistungsniveau in der Kammer
  •    (SEMITRON MPR1000) Semitron® MPR1000

    Semitron® MPR1000 Verbindungen Semitron MPR1000 Datenblatt


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