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Semitron®MPR1000
Semitron®MPR1000
概述
Semitron®MPR1000是半导体应用和更具体的在真空室中的应用,如在这些蚀刻,CVD和离子注入发现使用而开发的新型工程材料。

基于三个关键处所材料的开发:
1.长寿 - 增加寿命比传统塑料等离子腔体,如聚酰亚胺(高达25倍以上的聚酰亚胺臭氧)
2.清洁 - 低金属离子含量和低放气
3.值 - 在使用较低的总成本相比,在真空室中的应用,如石英,陶瓷中使用传统的材料,和工程塑料

特性和优点
Semitron®MPR1000的特点:
  • 优良的耐热性
  • 低离子含量,低放气
  • 糜烂等离子腔体的低利率
  • 优良抗碎裂性,耐久性和可加工
  • 成本最低的解决方案,塑料也提供了最高的性能水平,在室
  •    (SEMITRON MPR1000)Semitron®MPR1000

    Semitron®MPR1000链接 SEMITRON MPR1000数据表


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