CMP Mengekalkan Ring - Tiub Techtron® PPS

Nama Produk:
Soalan atau Komen:

Nama Syarikat:

Nama:

Pertama

Lepas

E-mel:

Nombor Telefon:

Bandar:

Negara / Negeri:

Amerika Syarikat
Kanada
Lain-lain

Zip / Postal Code:

(Untuk Amerika Syarikat atau Kanada)

Item dalam Bold mesti diisi.

TINJAUAN CMP Retaining Ring - Techtron® PPS Tubes

Techtron® PPS CMP Mengekalkan cincin yang digunakan dalam mesin CMP menggunakan ketulenan tinggi & panjang-memakai Techtron PPS.

PPS Mengekalkan cincin yang memegang 300 wafer semikonduktor mm semasa kimia planarization mekanikal (CMP) mesti menahan pendedahan berulang kepada bahan kimia dan pelelas. Salah satu cara yang fabrikasi semikonduktor mendapat kekukuhan, kesucian dan kekuatan yang diperlukan dalam cincin CMP adalah dengan menggunakan cincin dimesin dari Techtron® PPS. Bentuk ini dibuat daripada gred proprietari Fortron® polyphenylene sulfida (PPS).

Bentuk Techtron® PPS memanjangkan hayat cincin dengan ketara berbanding Acetal, poliester dan generik PPS. Pengalaman proses menunjukkan bahawa cincin diperbuat daripada bentuk saham Techtron® PPS menahan 2,000 hingga 5,000 kitaran CMP berbanding 1,000 hingga 2,000 kitaran untuk cincin yang diperbuat daripada bahan-bahan lain ini PPS generik.

Dalam CMP, lapisan silikon dioksida, aluminium, tembaga atau bahan lain pada wafer semikonduktor adalah digilap kepada kebosanan dendam sebelum litar terukir di atasnya. Buburan digunakan berbeza di abrasiveness dan pH bergantung kepada bahan permukaan. Semasa CMP, pad penggilap berputar terhadap wafer dipasang pada asas seramik dan diadakan dalam cincin penahan. Selain menahan kompaun menggilap, cincin mesti dimensi stabil dan tidak boleh flex semasa menggilap.

Techtron® PPS kosong adalah 12 hingga 24-in. panjang tiub yang dimesin ke dalam cincin mengekalkan yang berbeza-beza di ketinggian 0,33-1,0 dalam. Cincin 12 inci diameter (ID) digunakan dengan 300 wafer mm mempunyai ketebalan dinding 0,375 kepada 2.5 dalam. The Techtron® PPS digunakan untuk cincin kosong adalah gred yang tinggi-kekuatan yang mengurangkan kerepek dan pecah dan mempunyai pemanjangan tegangan sehingga 25 peratus.